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- 更新日期: 2024-12-18
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Qtime管控(Queue Time Control)是半導體制造過程中一個重要的和效率管理環節,尤其在刻蝕工藝(ETCH)中顯得尤為重要。 一、Qtime的定義和重要性 Qtime(Queue Time)即“排隊時間”,是指在生產流程中,某一工序或設備在接收到任務后,等待處理的時間。具體來說,Qtime是指晶圓在一個工序的前一工序完成到該工序開始的時間間隔。在刻蝕工藝中,Qtime主要是指晶圓在不同的刻蝕步驟之間的等待時間,或者從晶圓進入刻蝕機到開始刻蝕的時間。 Qtime的管控至關重