ASML、NIKON、CANON光刻機(jī)型號參數(shù)匯總

發(fā)布時間：2024-08-09作者來源：薩科微瀏覽：2842

之前，我發(fā)布了一個ASML光刻機(jī)的型號參數(shù)的匯總列表。看起來大家對這個數(shù)據(jù)非常感興趣，實(shí)際的閱讀量遠(yuǎn)超我最初的預(yù)估

既然如此，那我就多發(fā)布一些數(shù)據(jù)吧。這次，我干脆把全球前道光刻機(jī)供應(yīng)商御三家：ASML、NIKON、CANON的全部數(shù)據(jù)都一次性發(fā)布出來，供大家參考吧

老粉絲應(yīng)該或許還記得我以前也發(fā)布過這個數(shù)據(jù)。不過這次，我又增加了不少新的數(shù)據(jù)：

ASML：增加了[敏感詞]NA值 .55得TWINSCAN EXE；增加了若干老機(jī)型的數(shù)據(jù)（部分?jǐn)?shù)據(jù)參考了公眾號：TOM聊芯片智造，特此感謝）

NIKON：增加[敏感詞]的NSR S636E等兩三款型號

CANON：增加FPA Stepper機(jī)型若干

基本上，這個表格大體囊括了市面上主流的光刻機(jī)數(shù)據(jù)了，值得大家參考和收藏（限于我個人能力，很可能還有個別遺漏的，也麻煩大家給我留言提醒，謝謝了）

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